超高(gāo)純过(guò)氧化(huà)氫
专業生(shēng)産供应商
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全(quán)國(guó)咨詢热(rè)線(xiàn)：
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化(huà)工行業标(biāo)准《高(gāo)純工業品 过(guò)氧化(huà)氯》HG/T 5736-2020
| 序号(hào) | 項目 | 指标(biāo) | |||||
| HP型 | UP型 | ||||||
| HP-1級 | HP-2級 | UP-1級 | UP-2級 | UP-3級 | UP-4級 | ||
| 1 |
含量(liàng)（H2O2%），W/% |
30-35 |
30-35 |
30-32 |
30-32 | 30-32 |
30-32 |
| 2 |
色(sè)度(dù)（Hazen），≤ |
- |
- |
10 |
10 | 10 |
10 |
| 3 |
遊离酸(suān)（H2SO4），ppm ≤ |
30 |
30 |
30 |
30 | 10 |
10 |
| 4 |
總(zǒng)有(yǒu)機(jī)碳（TOC），ppm,≤ |
40 |
40 |
20 |
20 | 10 |
10 |
| 5 |
氯化(huà)物(wù)（Cl），ppm,≤ |
0.5 |
0.5 |
0.2 |
0.2 | 0.03 |
0.03 |
| 6 |
硝酸(suān)盐(yán)（SO3），ppm,≤ |
4 |
2 |
0.4 |
0.4 | 0.03 |
0.03 |
| 7 |
磷酸(suān)盐(yán)（PO4），ppm,≤ |
2 |
1 |
0.2 |
0.2 | 0.03 |
0.03 |
| 8 |
硫酸(suān)盐(yán)（SO4），ppm,≤ |
2 |
2 |
0.2 |
0.2 | 0.03 |
0.03 |
| 9 |
鋁(lǚ)（Al，ppb，≤ |
500 |
100 |
10 |
1 | 0.1 |
0.01 |
| 10 | 砷（As），ppb，≤ |
50 |
20 |
5 |
1 | 0.1 |
0.01 |
| 11 | 硼（B），ppb，≤ | 20 | 20 | 10 | 1 | 0.1 |
0.01 |
| 12 | 鋇（Ba），ppb，≤ | 100 | 50 | 10 | - | - | 0.01 |
| 13 | 鈣（Ca），ppb，≤ |
200 |
100 |
10 |
1 | 0.1 |
0.01 |
| 14 | 镉（Cd），ppb，≤ |
50 |
50 |
10 |
1 | - |
- |
| 15 | 鉻（Cr），ppb，≤ |
20 |
20 |
10 |
1 | 0.1 |
0.01 |
| 16 | 铜（Cu），ppb，≤ |
20 |
20 |
10 |
1 | 0.1 |
0.01 |
| 17 | 铁（Fe），ppb，≤ |
100 |
100 |
10 |
1 | 0.1 |
0.01 |
| 18 | 鉀（K），ppb，≤ |
200 |
100 |
10 |
1 | 0.1 |
0.01 |
| 19 | 镁（Mg），ppb，≤ |
100 |
50 |
10 |
1 | - |
0.01 |
| 20 | 錳（Mn），ppb，≤ |
50 |
20 |
10 |
1 | 0.1 |
0.01 |
| 21 | 鈉（Na），ppb，≤ |
500 |
100 |
10 |
1 | 0.1 |
0.01 |
| 22 | 鎳（Ni），ppb，≤ |
50 |
10 |
10 |
1 | 0.1 |
0.01 |
| 23 | 铅(qiān)（Pb），ppb，≤ |
50 |
50 |
10 |
1 | 0.1 |
0.01 |
| 24 | 銻（Sb），ppb，≤ |
20 |
20 |
5 |
1 | 0.1 |
0.01 |
| 25 | 锡(xī)（Sn），ppb，≤ |
50 |
50 |
10 |
1 | 0.1 |
0.01 |
| 26 | 钛（Ti），ppb，≤ |
100 |
50 |
10 |
0.1 |
0.01 |
|
| 27 | 礬（V），ppb，≤ |
- |
- |
10 |
1 | - |
0.01 |
| 28 | 鋅（Zn），ppb，≤ |
100 |
50 |
10 |
1 | 0.1 |
0.01 |
| 29 |
颗(kē)粒(lì)數,（μm，pcs/mL） ≤ |
- |
- |
- |
|||
超高(gāo)純電(diàn)子級过(guò)氧化(huà)氫是(shì)一(yī)種(zhǒng)十(shí)分(fēn)重(zhòng)要(yào)的(de)湿(shī)電(diàn)子化(huà)學(xué)品，主(zhǔ)要(yào)用(yòng)作(zuò)集成(chéng)電(diàn)路(lù)半导體(tǐ)和(hé)矽晶片的(de)清(qīng)洗劑、蝕刻(kè)劑、光(guāng)刻(kè)胶(jiāo)去(qù)除劑，産品中(zhōng)的(de)雜質(zhì)会(huì)对(duì)元(yuán)器件性(xìng)能(néng)産生(shēng)致(zhì)命影響，对(duì)集成(chéng)電(diàn)路(lù)成(chéng)品率、電(diàn)性(xìng)能(néng)及(jí)可(kě)靠性(xìng)有(yǒu)十(shí)分(fēn)重(zhòng)要(yào)的(de)影響， 因此半导體(tǐ)行業对(duì)超高(gāo)純过(guò)氧化(huà)氫産品的(de)純度(dù)要(yào)求非(fēi)常苛刻(kè)。在(zài)半导體(tǐ)材料領域，目前(qián)線(xiàn)宽(kuān)7納米(mǐ)制程和(hé)晶圆12英寸(cùn)以(yǐ)上制程需要(yào)过(guò)氧化(huà)氫的(de)离子雜質(zhì)达(dá)到(dào)＜10ppt水(shuǐ)平。
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200升(shēng)英特(tè)格桶(tǒng) |
IBC桶(tǒng) |
20-30t槽罐(guàn)車（內(nèi)襯PFA/n-PDFE） |
本(běn)品按氧化(huà)劑運輸規则運輸，防止劇烈振搖；
請勿直(zhí)接用(yòng)手(shǒu)接觸，操作(zuò)应配戴塑胶(jiāo)手(shǒu)套(tào)；
若不(bù)慎接觸或包(bāo)裝(zhuāng)發(fà)生(shēng)洩漏，請用(yòng)大(dà)量(liàng)水(shuǐ)沖洗。
